解析等離子電拋機如何提高氧化拋光液的分散性及穩定性

發布時間：2017-06-27 10:00:48

等離子電拋機化學拋光液中的組成成分與工件發生反應，在工件加工表面形成一層很薄、結合力較弱的生成物；而拋光液中磨粒在壓力和摩擦作用下對工件表面進行微量去除。此外，拋光過程化學拋光液還通過在拋光區域形成流體膜以及帶動磨粒在拋光區運動影響拋光過程。

納米氧化鋁顆粒在極性的水溶液中，氧化鋁顆粒由于受靜電力等作用發生團聚，容易出現絮凝分層等現象，破壞拋光液的分散性、穩定性。拋光液主要由磨料、溶劑和添加劑組成，其種類、性質、粒徑大小、顆粒分散度及穩定性等與最終拋光效果緊密相關。

SiO2拋光液選擇性、分散性好，機械磨損性能較好，化學性質活潑，并且后清洗過程處理較容易；缺點為在拋光過程中易產生凝膠，對硬底材料拋光速率低。

CeO2拋光液的優點是拋光速率高，材料去除速率高；缺點是黏度大、易劃傷，且選擇性不好，后續清洗困難。Al2O3拋光液的缺點在于選擇性低、分散穩定性不好、易團聚等，但對于硬底材料藍寶石襯底等卻具有優良的去除速率。

氧化鋁拋光液憑借較高的拋光速率在藍寶石拋光液中有很好的應用前景。然而氧化鋁拋光液在拋光過程中存在分散穩定性差、拋光過程容易出現凝聚現象使拋光面出現劃痕的問題。有許多研究者對提高氧化鋁拋光液穩定性進行了研究。